自然產生：

臭氧主要存在于大氣平流層中的臭氧層，距地球表面約20公里。臭氧層中的臭氧主要是由太陽光中的紫外線照射氧氣（O2）產生的。紫外線將氧分子（O2）分解成兩個氧原子（O），隨后氧原子與氧分子結合形成臭氧（O3）。

臭氧也會通過一些自然過程如雷電放電產生。

人為產生：

近地面的臭氧主要由氮氧化物（NOx）和揮發性有機物（VOCs）之間的光化學反應產生。這些污染物通常來源于人類活動，如汽車尾氣、工業排放、和燃燒過程等。在陽光照射下，這些污染物發生光化學反應，生成臭氧。

此外，在科學實驗室、工業生產中，也會通過特定的化學反應或設備放電（如電暈放電）來產生臭氧。